那諾-馬斯特中國有限公司

NANO-MASTER(那诺-马斯特)作为国际性的薄膜工艺系统的供应商，提供的产品涵盖了沉积、刻蚀、生长、表面处理、清洗、空间仿真仪器测试等类别。 NANO-MASTER(那诺-马斯特)的主要设备有： E-Beam电子束蒸发系统，Thermal热蒸发系统； PECVD等离子增强化学气相沉积系统； PLD脉冲激光沉积系统，DLC类金刚石沉积系统； Sputering磁控溅射(DC&RF)系统； Ion Beam离子束溅射/清洗/刻蚀/研磨系统； RIE反应离子刻蚀系统，DRIE深硅刻蚀系统； ICP电感耦合等离子系统； Plasma等离子清洗/改性/去胶系统； ALD原子层沉积系统，PA-MOCVD系统； CNT生长系统，石墨烯生长系统； PIII等离子注入系统，RTP真空退火； Megasonic兆声清洗/刻蚀； Device Testing Systems设备测试(空间仿真)； Heated Platens等离子样品台等。 NANO-MASTER（那诺-马斯特）的设备广泛应用于：LED领域，MEMS领域，纳米技术领域，光电子学，光伏领域，研究开发、半导体领域，空间仿真学，新兴技术等。